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多孔硅与硅基光电子的集成使低成本的微型光电传感器成为可能

作者:时间:2014-10-22来源:solidot收藏

  美国乔治亚理工学院的科学家成功地将(Porous Silicon)与绝缘体上硅(Silicon-on-insulator)集成,并在此基础上实现了微米尺寸大小、探测灵敏度提高6倍的光学传感器。绝缘体上硅是硅基光电子领域常用的材料体系,在研发小尺寸、高性能、低成本的光电器件中起着十分关键的作用。

本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/264241.htm

  此次与绝缘体上硅的成功集成极大地提高原有材料平台的表面积,能够吸附更多的待测样本分子,从而极大地提高了微型集成的性能。该研究工作由美国国防高级计划署资助。

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