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AMAT发布触摸面板用制造装置

—— 通过将成膜室增至两个提高处理能力
作者:时间:2011-04-19来源:日经BP社收藏

  美国应用材料()于当地时间2011年4月12日发布了用溅镀设备的新产品“AKT Aristo Twin”。其特点是,1台设备中拥有两个独立的成膜室,能够同时分别形成薄膜。处理能力提高到了原来的约2倍。

本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/118774.htm

  此次的新产品最大支持2200mmx2500mm的基板尺寸。在玻璃基板和硬质塑料基板上都可以成膜。该产品是在该公司在全球拥有175台供货业绩的彩色滤光片及用溅镀设备“AKT New Aristo PVD”的基础上开发而来的。

  公司副总裁兼平板显示事业部总经理Tom Edman表示,此次发布的用溅镀设备“已向中国大陆和台湾的主要触摸面板厂家供应了数台”。



关键词: AMAT 触摸面板

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