以第三季排名来看：

一、北方华创为中国龙头半导体设备商，主营半导体设备、真空设备、电子元器件等，其半导体业务覆盖了刻蚀、沉积、清洗等主要半导体制造设备，第三季半导体设备相关营收53.6亿元、年增50.5%，稳居中国榜首位置。

二、中微公司专注于半导体刻蚀设备和沉积设备，第三季半导体设备相关营收15.2亿元、年增41.5%。

三、盛美上海以半导体清洗设备和先进封装湿法设备为核心，近年开始进军沉积设备，第三季半导体设备相关营收11.4亿元、年增29.2%。

四、拓荆科技聚焦于半导体薄膜沉积设备，主要产品包括PECVD、ALD和SACVD设备，第三季半导体设备相关营收7亿元、年增49.2%。

五、华海清科主营化学机械抛光设备，适用于晶圆制造及先进封装的关键制程，第三季半导体设备相关营收6.1亿元、年增45.6%。

六、芯源微主营半导体晶圆制造中的湿制程设备，包括涂胶显影、刻蚀、清洗设备等，第三季半导体设备相关营收5.1亿元、年增30.2%。

七、长川科技主营半导体测试设备，包括测试机、分选机、探针台等，第三季半导体设备相关营收4.5亿元、年减21%。

八、中科飞测主营集成电路的程序控制设备，产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，于今年5月上市，第三季半导体设备相关营收2.2亿元、年增62.4%。

九、至纯科技主营业务包括高纯制程整合系统、半导体湿制程设备、光感测及光器件等，第三季半导体设备相关业务营收2.2亿元、年减21.3%。

十、新益昌主营业务为封装用固晶机、电容老化测试设备等，其在中国LED固晶机领域有领先地位，第三季半导体设备相关营收2亿元、年减27.1%。

来源：EETOP

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