中微利用分子筛的吸附原理的化学反应器，在国内率先开发制造了工业用大型VOC净化设备。设备采用机电一体化、半导体等级的人机防护，具有新颖的在线浓度监测功能，能远程实时管理和智能控制，并可根据客户的要求灵活配置不同处理规模的系统，提供给客户可靠、稳定、安全和节能的VOC解决方案。目前，中微的VOC净化设备已被广泛应用于国内平板显示行业生产线，以改善洁净室的工作环境。

     VOC净化设备过滤器滤芯由律特霍尔自主研发配套。

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