超声电机压电致动器驱动的精密滑台应用，超声电机高精度（亚微米级别）、体积小、扭力大、适应温度范围-40℃到105℃，配合外置或者内置闭环控制进行高精度，可应用于精密测量滑台产品。

目前滑台产品，普遍使用步进电机控制马达，但是方案体积大，精度低，无位置反馈，应用的小滑台中，由于一般精度无法到达微米级别。

压电致动器驱动的滑台产品，超声电机高精度、体积小可以将滑台任意叠放组合，不产生干涉。

微型体积输出大推力，闭环控制，将微型高精度闭环控制系统安装在微型超声电机背部，实现位置反馈，运动过程中将信息传导到超声电机伺服控制电路从而控制微型超声电机精准运动。

超声电机伺服控制电路支持物理限位寻零功能。

滑台精度达到亚微米级别。使用超声电机技术制作的滑台具有明显优势。

主要技术指标与优势

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