超精密轴承的公差符合DIN 620标准。有关尺寸和精度的定义如DIN ISO 1132中所述。为了确保充分发挥轴承的性能，并达到非常高的加工精度，FAG超精密轴承的尺寸、形状和运转精度等，均按标准中所订的小公差制造：形位公差也符合相应的精度级别。• 所有超精密主轴轴承和浮动变位轴承达到P2等级，B718系列除外，它达到P4等级• 所有超精密圆柱滚子轴承和双向角接触推力球轴承达到P4等级还可根据客户要求，提供更高精度等级UP级别的精密圆柱滚子轴承。
  孔径测量方法d = 公称孔径(锥形内孔：最小直径)d1 = 锥孔大端的公称直径Δds = ds – d在单一径向平面内，单一孔径与公称孔径的偏差Δdmp = dmp – d在单一径向平面内，平均孔径与公称孔径的偏差Δd1mp = d1mp – d1锥孔大端平均直径与公称孔径的偏差Vdp = dpsmax – dpsmin单一径向平面上单个孔径的变动量(Vdp约为不圆度，符合DIN 620标准);(Vdp/2约为圆度，符合DIN ISO 1132标准)(测量方法等同不圆度的测量)Vdmp = dmpmax – dmpmin在不同径向平面上的平均孔径变动量。
  外径测量方法D = 公称外径ΔDs = Ds – D在单一径向平面内，单一外径与公称外径的偏差ΔDmp = Dmp – D在单一径向平面内，平均外径与公称外径的偏差VDp = Dpsmax – DpsminV在单一径向平面上外径的变动量(VDp等同不圆度，符合DIN 620标准);(VDp/2等同圆度，符合DIN ISO 1132标准)(测量方法等同不圆度的测量)VDmp = Dmpmax – Dmpmin在不同径向平面内的平均外径变动量。
  宽度和高度测量方法ΔBs = Bs – B单一内圈宽度与公称宽度的偏差ΔCs = Cs – C单一外圈宽度与公称宽度的偏差VBs = Bsmax – Bsmin内圈宽度的变动量VCs = Csmax – Csmin外圈宽度的变动量ΔHs = Hs – H单一整套推力轴承高度与公称高度的偏差。
  运转精度测量方法Kia = 成套轴承内圈的径向跳动Kea = 成套轴承外圈的径向跳动Sd = 相对内孔的内圈端面跳动(轴向跳动)SD = 外圈圆柱表面相对外圈基准面的倾斜度变动量（轴向跳动）。Sia = 成套轴承内圈相对内圈滚道的端面跳动(轴向跳动)Sea = 成套轴承外圈相对外圈滚道的端面跳动(轴向跳动)Si = 推力轴承轴圈的壁厚变动量(推力轴承的轴向跳动)Se = 推力轴承座圈的壁厚变动量(推力轴承的轴向跳动)。