采用恒流法[1]，可以使用静电计电压表和电流源或者只使用静电计欧姆计来测量高电阻。也可以使用具有高输入阻抗的电压表和微电流源的SMU来进行测量。使用带有分立的电流源的静电计电压表或SMU[2]时，用户能够进行四线测量并控制流过样品的电流。静电计欧姆计依据测量的量程，在规定的电流下，进行两线电阻测量。

使用静电计电压表和外部电流源

恒流源法的基本电路配置如图 2-31所示。电流源的电流（I）流过未知电阻（R），并由静电计电压表测量其电压降（V）。用这种方法可以测量高达1012Ω的电阻。虽然基本方法看起 来非常简单，但是必须采取一些预防性的措施。电压表的输入阻抗与源电阻相比必须足够高，以便使负载误差保持在可以接受的水平。通常静电计电压表的输入阻抗大约为1014Ω。而且，电流源的输出电阻必须比未知电阻大得多，才能使测量为线性。样品两端的电压决定于样品的电阻，因此在使用恒流法时，难于考虑电压系数的问题。如果关心电压系数，最好使用恒压法[3]。静电计电压表和分离的电流源可以在采用四点探头法或van der Pauw法测量半导体材料的高电阻率时使用。

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