MOSCAP结构之二：制作流程（3）
加入技术交流群
MOSCAP结构之二：制作流程（3）
9d：经过了一夜时间，光刻胶变得很硬，所以将晶圆片放入丙酮后，又使用了超声波，才很好地将光刻胶除去。
9e：使用偏振光测量仪进行测量。
铝层的厚度（片2中links出现了测量错误）
剩余氧化层的厚度
经分析，片2最近期望值。
F：煅化
10：3小时；400度
目的是使各层结合更紧密，也使蒸汽堆积的铝层更牢靠。
到此为止，完成了MOSCAP结构在无尘室中的制作过程。
专栏文章内容及配图由作者撰写发布，仅供工程师学习之用，如有侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。 联系我们
关键词：
相关推荐
爆炸声响彻巴格达 炮弹打入驻伊美军司令部
不再是3nm！曝iPhone 18首发台积电2nm工艺制程
白电MCU，压力暴增
MAX2900/2901/2902 BPSK/ ASK/OOK 915/868 MHz发射器
英伟达CEO黄仁勋：将在波士顿成立量子研究实验室 今年正式投运
英伟达甩出三大「王炸」
美国新规生效：禁止使用中国智能网联汽车软硬件
ESP车身稳定系统视频
劳特巴赫Trace32系列培训(2) --PowerTrace助您实时跟踪软件运行
英伟达计划在美国供应链上投资数千亿美元
创新的液晶电视LED背光驱动解决方案
黄仁勋回应DeepSeek冲击：算力需求将被推高，芯片反而更吃紧
软银以65亿美元收购美国芯片设计公司Ampere
QFMT6-915/869.85/868.4 FM发射器模块
tornado 2.0编译问题请教
MICRFl03 ASK l GHz～800 MHz发射器
HT46R23 HT46C23 单片机数据手册 V1.41 (英)
IBM与Rapidus合作开发2纳米半导体技术
HT46R24 HT46C24 8位AD型单片机数据手册 V1.11...
绿色能源趋势和对电源转换的影响
MC33493/D OOK/FSK 928～902 MHz/434～315 MHz双频发射器
一个扔鸡蛋的小游戏~~!
HT46R24 HT46C24 8位AD型单片机数据手册 V1.10
用于零电压开关结构的新一代高电压CoolMOS
谷歌、联发科合作开发TPU，明年在台积电生产
nRF904 FSK 915 MHz发射器
帖过了
10月原创发贴大奖结果公布！！
HT46R47 HT46C47 单片机数据手册 V1.11 (英)
HT46R47 HT46C47 单片机数据手册 V1.10