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电子材料出现融合趋势,协作和多样化日趋重要

作者: 时间:2009-10-20 来源:半导体国际 收藏

  加强对化学品输送系统的关注

本文引用地址:https://www.eepw.com.cn/article/99081.htm

  在大批量制造中是否能够采用新型材料紧密相关的是要开发出合适的化学品输送系统。 因为所用的“特殊”材料及其物理性能差异极大,所以目前正在开发更专门的输送系统,能以一种产率最高、停机时间最少的方式将材料输送到处理室(图2)。 在许多情况下,为了确保材料的商业采用,实现这一点变得日益重要。

 

  当前的经济环境使得对制造成本因素的审核比平常要严格得多。 每个因素都从其总拥有成本 (CoO) 角度进行考虑。 正如所预期的那样,这包括了由电子化学品供应商提供的生产耗材。 考虑 CoO 的其中一个关键是材料,适当时,还包括用合适的输送系统输送材料(例如液体或蒸汽)的必要形式。 在考虑总拥有成本 (CoO) 时,输送系统是一个关键因素,因为它可能会显著减少工具的停机时间,确保更高的资产利用率,使各个流程能够满负荷运行,不出现停工情况,从而优化工艺效率,并在不影响性能水平的前提下降低运营成本。 从这方面讲,SAFC Hitech 最新的蒸汽输送系统 EpiVapor 可与我们现有的 Epifill 液体输送系统互补,这两个系统都是针对降低拥有成本 (CoO) 的需要而设计,可向沉积室不间断地供应先驱体,从而尽量减少设备停机时间。 选择使用什么输送系统取决于装置的工艺化学要求。

  光伏产品和 LED 的兴盛: III-V 族半导体和硅半导体的大规模生产会融合吗?

  随着全球对能源的需求日益超过供应能力并且能源成本日益增加,解决能源供需之间的缺口给半导体设备制造商和材料供应商们带来不少机遇。 解决问题的重点放在节能和开发可再生、可持续的能源上。

  为了既能利用它们的专业技术探索新的增长点,又能在它们的传统核心重点之外发挥重要影响,硅半导体制造商和设备提供商正在节能照明和光伏电池或模块领域中寻找机会。 最近人们对用于照明应用的高亮度发光二极管 () 的兴趣激增,这为各硅半导体制造商开创了巨大的商机,甚至到了让人觉得从事硅设备和化合物半导体设备制造的公司之间历史界限已经“模糊”的地步。 由于预期各种应用中的设备无论是寿命还是效率上都会有显著的改善,目前 的制造正在大幅增长。 尽管最近 制造增长的主因是为了以 HBLED 替代 LCD 中的背板式冷阴极荧光灯 (CCFL) 照明,这种替代白炽灯和其它传统灯具技术的常规照明技术的应用和采用正在加速发展到一个大规模采用的阶段。



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