应用在军用与航天领域的MEMS压力传感器迅猛增长

　　厂商与产品

　　MEMS供应商提供不同的集成水平。例如，美国霍尼韦尔可以生产传感器，也可以生产完整的系统。美国Kulite Semiconductor Products向波音、空中客车、Canadair和Embraer供应传感器，并向许多直升机与军用项目提供产品。

　　美国Eaton Corp.可能购买MEMS传感器，并将其整合到压力变换器之中，但它也像霍尼韦尔一样同时生产子系统。而美国GE Druck在英国莱斯特拥有一个4英寸硅片生产线。

　　MEMS压力传感器介绍

　　就是采用MEMS技术制造的压力传感器。MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。