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通用智能SiC晶锭8寸剥离产线正式交付客户

作者:时间:2023-12-18来源:SEMI收藏

据通用智能官微消息,日前,通用智能装备有限公司SiC8寸剥离产线正式交付客户。

本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/202312/453985.htm

目前,SiC主要通过砂浆线/金刚石线切割,效率低和损耗高。据悉,通用智能采用激光隐切技术完成SiC分割工艺过程,并成功实现8寸晶锭剥离设备的量产。




关键词: 碳化硅 晶锭

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