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导电聚合物薄膜电阻率测量系统的设计

作者: 时间:2011-05-03 来源:网络 收藏

1.3 电流的限制
半导体材料电阻率测量时对流过样品的电流有比较严格的要求:
(1)电流不能过小,以确保内侧探针间电压可测;
(2)电流不能过大,以减小热效应对样品电阻率的影响;
(3)测量较大电阻率样品时,应该减小注入电流,以减小少子注入的影响。
流通电流影响样品电阻率值,但是通常电阻率不受电流影响的范围是很广的,根据这个范围的界限可以得出安全操作电流。
本方法中流经测试样品的电流:
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2 系统设计
系统采用LPC2148 ARM7芯片为数学运算和控制的核心单元,系统结构如图3所示。

本文引用地址:https://www.eepw.com.cn/article/194975.htm

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2.1 控制处理单元
控制处理单元包括LCD液晶显示电路、键盘输入电路、串口通信电路、反馈控制电路1和2和微控制器。预置限流电阻Rc用于限定小电阻率材料测量时通过的电流,流过的电流可由式(9)计算得出。全量程范围内可保证测量电流小于2 mA。各参数与档位如表1所示。

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2.2 信号调理单元
包括可控恒压产生电路、差分放大电路、比率测量电路和模数(A/D)转换电路。恒压源采用ADR01,产生10 V的基准电压输出,进一步得到0.1 V和0.01 V的基准信号;图2中内侧两探针间电压的测量采用AD620差分放大电路及高精度运放AD546,通过反馈控制电路2调节增益电阻RG来改变输出信号的幅度;模/数转换电路采用16位的∑-△型AD7705,使用3.401V参考电压时测量分辨率到达52μV/LSB。如图4所示。

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