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MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制
- 1 引言 大气压力传感器在工业生产、气象预报、气候分析、环境监测、航空航天等方面发挥着不可替代的作用。传统的压力传感器一般为机械式，体积比较大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技术不仅可以解决上述缺点，还能极大地降低成本，而性能更为优异。如今基于MEMS技术得到广泛应用的压力传感器主要有压阻式和电容式两大类，压阻式压力传感器的线性度很好，但精度一般，温漂大，一致性差;电容式压力传感器与之相比，精度更高，温漂小，芯片结构更具鲁棒性，但线性度差且易受寄生电容的影响。目前MEMS电容式压力传感器多用
- 关键字： MEMS
MEMS固态风速风向传感器的设计与制作
- 1 引言 风速及风向的测量是气象观测中重要的一环。风速风向可以基于流体力学原理、热学原理、声学原理和仿生学原理来测量。热式测风仪基于风对热体的对流作用来测量风速和风向，其存在一个精密的热源，通过把两对相对的热源与热电偶正交放置测量风向。超声测风仪可以同时进行超声波的发射和接收，基于多普勒效应测量风速，用三个或者四个探头根据三角关系测量风向信息。基于MEMS技术传感器有体积小、重量轻及成本低的特点，基于MEMS技术的风速和风向测量传感器受到了研究者的重视。 本文介绍了基于MEMS的固态风速风
- 关键字： MEMS
MEMS传感器进驻汽车发动机
- 近年来，从半导体集成电路(IC)技术发展而来的MEMS (微电子机械系统)技术日渐成熟。利用这一技术可以制作各种性能敏感的力学量、磁学量、热学量、化学量和微生物的微型传感器，这些传感器的体积和能耗小，可实现许多全新的功能，便于大批量和高精度生产，单件成本低，易构成大规模和多功能阵列，这些特点使得它们非常适合于汽车方面的应用。 MEMS将成为汽车传感器的主流技术 20世纪80年代微型加速度传感器开始用于汽车安全气囊，它们是到目前为止大量生产的、并在汽车中得到广泛应用的微型传感器。然而微型传感器的
- 关键字： MEMS 传感器
MEMS机油压力传感器可靠性研究
- 1 引言 MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新技术，用MEMS技术研制的压力传感器具有体积小、重量轻、响应快、灵敏度高、易于批量生产、成本低的优势，它们已经开始逐步取代基于传统机电技术的压力传感器。目前已有多种MEMS压力传感器应用到了汽车电子系统中，如发动机共轨压力、机油压力、歧管空气进气压力、汽车胎压压力等。其中机油压力传感器是用于测量汽车发动机油压力的重要传感器，其可靠性直接关系到汽车和人的安全性。本文选用MEMS压力芯片，成功开发出汽车发动机机油压力传
- 关键字： MEMS 传感器
汽车MEMS传感器应用及发展
- 摘要：本文通过大量的文献资料，评述汽车MEMS（微机电系统）传感器的应用现状及发展趋势，其中重点介绍几种传感器的原理和结构，同时对该领域的产业化也进行了探讨。 关键词：汽车传感器、微机电系统、力敏器件。 一、引言 MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新科技，其研究开发主要集中在微传感器、微执行器和微系统三个方面，目前主导MEMS市场的传感器已形成产业。用此技术研制的五花八门的微传感器具有体积小、质量轻、响应快、灵敏度高、易生产、成本低的优势，可以测量各种物理
- 关键字： MEMS 传感器
飞思卡尔建成先进的200-mm MEMS生产线
- 飞思卡尔半导体建成先进的微机电系统(MEMS)200-mm(8-inch)生产线来满足不断增长的传感器市场需求。这套新生产线是在飞思卡尔设在德克萨斯州奥斯汀的Oak Hill Fab建成的，是对公司在日本仙台的现有150-mm(6-inch) MEMS生产线的补充。 随着MEMS传感器市场的持续增长，大批量MEMS生产技术仍显得至关重要。飞思卡尔在生产基于MEMS的传感器方面已有25年以上的历史，是业界领先的大批量传感器提供商，可提供全面的加速、压力和接近传感器。借助可实现全面的传感、控制、连接
- 关键字： 飞思卡尔 半导体 MEMS MCU和嵌入式微处理器
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