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以DLC接口及钻铜基材制造大功率的垂直LED

作者:时间:2011-07-17来源:网络收藏
2010年全球LED产值(约百亿美元)几乎追近台积电一年的销售额。许多重量级的大公司( 如台积电、鸿海、友达等 )也将跳进这片光海。然而大陆却早有布局使2012年成为传统LED的总决战(Armageddon)年,而最后获胜的将会是中国。中国不仅掌握市场,更布局近千台的MOCVD机海, 因此可抓住LED的上、中、下游产业。有鑑于此,CREE、晶电、灿圆、新世纪、旭明光电等LED磊晶生产的领头羊已纷纷进驻大陆。美国、日本及台湾LED磊晶公司的生存之道就是把传统的水平LED设计升级成垂直式LED,这样才能在大面积的芯片上加大电流(如单芯片10W)而以一颗LED的生产成本取代多颗的传统LED。

的制作必需把GaN半导体软銲在低膨胀率的基材上,但偏偏低膨胀率的材料(如矽或GuW)其散热不佳,而高导热材料的热膨胀却远大于GaN(约5.5ppm/mK), 因此LED专家找不到理想的衔接材料。本文推荐以DLC为接口而钻石和铜的复合材料(钻石散热片)为基材制作全世界最先进的。这样可以让台湾LED的产业蛙跳超前外国的主导公司(如Nichia, Osram,Lumiled),也顺势摆脱欧、美、日对台湾的专利封锁。

LED的世界革命。2010年LED开始大量用于室内照明、户外路灯、及电视背光。室内照明常用的白炽灯(Incandescent Lamp)及萤光灯(Fluorescent Lamp)乃致LCD背光常用的冷阴极管(Cold Cathode Fluorescent Lamp)正在快速被淘汰中。

LED的主流产品为白光照明,大部份的白光乃以蓝光的LED激发黄色的萤光粉产生假性的白光。LED的大宗生产乃以为基材外延磊晶生长GaN成为LED的芯片。生长的主要方法为金属有机化学气相沈积(Metal Organic Chemical Vapor Deposition 或MOCVD) 。 台湾拥有最多台的MOCVD设备,为世界LED晶粒产量第一的国家。但大陆已经急起直追,甚至提供每台MOCVD 补助人民币一千万元的优惠奖励 。

台湾主要的生产公司(晶电、灿圆、新世记等)都已在大陆设厂。另一方面,台湾光电产品的劲敌韩国(如Samsung)在2010年虽向台湾大量采购LED货源,但自己却也安装了两百多台的MOCVD。所以台湾MOCVD生产的LED其产能在2011年可能过剩,预期即将成无利可图的红海市场。台湾急需开发更高端的产品才能避免金融风暴后DRAM杀价竞争的复辙 (如表一~表四) 。

表一:世界最大产值的LED产品公司(2009)

以DLC接口及钻铜基材制造大功率的垂直LED

参考:LED Inside

表二:世界最大芯片产量的LED 公司(2010)

以DLC接口及钻铜基材制造大功率的垂直LED

参考:IMS Research, SEMI

表三、主要LED公司使用MOCVD的规模(2009)

以DLC接口及钻铜基材制造大功率的垂直LED

参考︰Yuanta Research estimates


表四:世界最大产值公司PK世界最大产量公司的竞争优势

以DLC接口及钻铜基材制造大功率的垂直LED

LED的专利网
台湾虽为LED制造王国,但就像其他的代工产业一样,LED专利受制于国外的大公司,每年必须缴付钜额的权利金。台湾出钱制造却为外国老板赚钱,而现在生产LED的技术更已大量外移大陆,这是台湾LED代工生态的悲哀。(如图1、2)

以DLC接口及钻铜基材制造大功率的垂直LED

图1:LED 专利网

以DLC接口及钻铜基材制造大功率的垂直LED

图2︰LED外国公司交互授权而边缘台湾代工产业的现状。然而这个劣势却可以让钻石科技中心发展的钻石专利逆转获胜(见下述)

LED的战国时代
提高LED性能的一种方法乃将电流由弯流改成顺流。由于基材不导电,LED正负两个电极乃设在同面。当电流通过GaN晶格时电流必须由垂直顺流改成水平横流,这样电流就会集中在内弯处,导致不能有效使用P-N接口的电子层和电洞层,因而减少了发光效率。更有甚者,电流集中之处会产生热点使晶格缺陷范围延伸,LED的亮度就会随缺陷扩大而递减。为了延长LED的寿命,输入的电流必须降低(如350mA),单位面积的发光亮度,就受到了限制。LED设计的主要设计有如下列诸图所示(如图3)

以DLC接口及钻铜基材制造大功率的垂直LED

以DLC接口及钻铜基材制造大功率的垂直LED

以DLC接口及钻铜基材制造大功率的垂直LED

以DLC接口及钻铜基材制造大功率的垂直LED

图3:LED芯片的主要设计示意

LED电流转弯的问题不能靠封装的设计(如复晶或Flip Chip)改善,把电流截弯取直才是正道,这样必须把电极置于LED磊晶的两侧。电流平顺就可以明显提升LED的亮度。除此之外,相同亮度的顺流LED使用的芯片面积较小,因此晶圆上切出的晶粒数目较多,也就是单颗LED的制造成本可能降低。尤其进者,电流转弯时若扩大芯片的面积会使LED发光更不均匀。但是顺流LED其发射的光子数目则会由发光面积的加大而提高。所以一颗以大电流(如1A)驱动大面积的顺流LED,其亮度会大于具有相同面积的多颗横流LED。(如图4)

以DLC接口及钻铜基材制造大功率的垂直LED

LED的顺流制造
制造顺流式LED时乃将一导电体(如CuW)软銲(如Au-Sn)在GaN的正极(P-Type)面。其后以雷射(如波长248nm的KrF气体雷射)从反面透明的面照入,就可气化GaN成为Ga及N2,这样蓝宝石就可以和负极(N-Type)剥离分开了。(如图5)

以DLC接口及钻铜基材制造大功率的垂直LED

雷射剥离蓝宝石基材后暴露出的GaN负极(如加入Si Dopant)在抛光后其导电率及透光率比正极(如加入Mg Dopant)要高,因此不需镀上会吸光的ITO层做为电流散布层(Current Spreading Layer)就可在其上的部份镀上电极而制成LED光源。

CREE以半导体SiC磊晶基材生长GaN,在蒸镀反射层(如银)后软銲(Solder)导电的矽晶制成所谓的“垂直式”LED。这种间接制程不仅可将昂贵的SiC基材以雷射剥离收回再用,也能加大芯片(电流)及减少亮度衰减。国内的晶电也以矽晶软銲在GaN晶圆上,而灿圆则以GuW合金软銲在GaN 的芯片上。旭明光电则以电镀金属(如Ni、Co、Cu)直接披复在GaN的晶圆上。然而软銲可能局部接合不良以致若干GaN芯片(Die)在切割(Dicing)后发光不亮。另一方面,不以软銲接合而以电镀沈积的接口结合强度不高,更有甚者,金属膨胀后可能自GaN表面剥离。有鑑于此,本文叙述一种新的垂直LED设计,乃采用“似钻膜”Diamond Like Carbon (DLC)为半导体和金属体的接口,不仅可避免软銲造成制造良率问题,也能舒解两种回异材料之间的应力。除此之外,DLC的热传导比铜快许多,因此以DLC为接口,可加速移除LED发光时产生的废热,而可能大幅延长使用寿命。

接口应力的问题
半导体(如GaN)和金属(如Ni-Cu)的接口极其脆弱。合金的热膨胀系数远大于GaN,在高电流密度下的温度较高处其接口应力会迅速上升。尤其在启动LED的瞬间电流自接口电阻最低处汇流时可能会产生爆点。除此之外,GaN晶格为六方晶系的würtzite结构,因此具有压电效应,界面应力产生的即时电场可以扰乱了LED内的电流分布。不仅如此,金属基材即使不自接口剥离,其膨胀也可能撑裂缺陷的某中区,以致在GaN内部产生更大的缺陷,加大的缺陷会形成微小的热点而造成光度衰淢的恶性循环。LED的电光效应因接口的疲劳会在数千小时后迅速降低。(如图6~7)

以DLC接口及钻铜基材制造大功率的垂直LED

图6:各种材料的热传导率及热膨胀率的比较。图示钻石和铜的复合材料或“似钻膜”(DLC)不仅有较高的热传导率,也具有可调节的热膨胀率,因此能降低垂直LED的接口应力及加快散出电光效应产生的废热。
以DLC接口及钻铜基材制造大功率的垂直LED
图7:LED寿命随接口应力加大而缩短的示意图。加大电流后寿命更会急遽衰减。


雷射剥离前磊晶的正极(P Type)需镀上一层反射金属(如银),再接上一个导电的支撑体。 若支撑体为合金,半导体和


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关键词: 垂直LED 蓝宝石

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