MEMS建模--从设计到制造
MEMS 模型由系统和IC 设计师使用，因此模型应当尽可能紧密地集成到用户的设计流程。对于IC 设计师，这需要模型支持所有模拟器，具有设计流程中的各种实体化等级的多种视图。实现这一功能并非易事，需要考虑质量保证、模型验证和实验室管理的最佳实践。如果采用特别方法，模型使用将受损。为了促进建模流程的更大结构化，各公司应当采用设计套件。这些套件类似于铸造车间提供的标准IC 设计套件，执行所提到的最佳方法。
传感器公司应当期望增加目前和可预见未来可提供的任何商用工具。MEMS设计流程中使用的工具和方法必须支持自动化模型生成、相对于系统性能的变量参数化、可扩展模型和IC 设计流程集成。但是最显而易见的是，需要投资建立可靠的统计模型，它能捕捉制造分布，并能让设计环境与制造场所随时保持一致。捕捉所讨论的所有元素的MEMS流程对于实现下一代传感器产品的最佳解决方案非常关键。
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