- 电容式微机械超声换能器（CMUT）是利用MEMS微加工技术制作的超声换能器，具有低声阻抗、宽带宽、体积小等优点。然而，相比于压电式超声换能器，CMUT存在发射灵敏度较低、输出声压不够高等问题。据麦姆斯咨询报道，为了解决CMUT声发射能力弱、输出声压低的问题，中北大学研究人员根据CMUT工作原理与阻抗匹配理论设计了匹配电路，实现信号源端到CMUT的最大功率传递，以此提升CMUT的声发射性能，为CMUT的实际应用提供解决方案。相关研究成果已发表于《传感器与微系统》期刊。单个CMUT阵元由许多CMUT微元构成，
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MEMS CMUT
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