- 电容式微机械超声换能器(CMUT)是利用MEMS微加工技术制作的超声换能器,具有低声阻抗、宽带宽、体积小等优点。然而,相比于压电式超声换能器,CMUT存在发射灵敏度较低、输出声压不够高等问题。据麦姆斯咨询报道,为了解决CMUT声发射能力弱、输出声压低的问题,中北大学研究人员根据CMUT工作原理与阻抗匹配理论设计了匹配电路,实现信号源端到CMUT的最大功率传递,以此提升CMUT的声发射性能,为CMUT的实际应用提供解决方案。相关研究成果已发表于《传感器与微系统》期刊。单个CMUT阵元由许多CMUT微元构成,
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MEMS CMUT
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