MEMS传感器在电子烟中的应用

电子烟不含焦油及悬浮颗粒等有害成分，随着人们健康意识的提升，抽电子烟正成为一种趋势。并且，电子烟的烟油可以加入不同成分的调味剂进行调味，用户可以根据自己的喜好选择烟油的口味。

电子烟及MEMS

电子烟不含焦油及悬浮颗粒等有害成分，随着人们健康意识的提升，抽电子烟正成为一种趋势。并且，电子烟的烟油可以加入不同成分的调味剂进行调味，用户可以根据自己的喜好选择烟油的口味。

MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）一般指微机电系统，是在微米级尺寸上进行精密微加工，制作形成各种类型的微传感器及微执行器。压力传感器是MEMS传感器中最早出现及应用的传感器之一，从检测原理上主要分为压阻型及电容型，两者是用硅材料通过图形转移及刻蚀方法，制作成微米级的压力敏感膜片。

电子烟咪头

目前市场上电子烟产品，主要使用咪头作为压力开关。咪头成本低廉，但也存在一些使用中的痛点需要解决。

一致性：

●   多零件组装，存在装配公差，不能保证触发压力的一致性

防油性：

●   烟油或水汽进入电容膜片间隙，造成性能降低，严重情况甚至失效

SMT兼容性：

●   需要手工焊接，而且对焊接工要求挺高，这是影响产能的一个原因

基于单颗器件的解决方案

●   单颗差压传感器实现吸力检测

●   器件膜片一侧接触气流通道，另一侧接触大气压力，防水防油

●   多种输出接口：中断，频率，I2C

相对传统咪头的优势

●   低成本：单芯片差压检测，整机设计更加紧凑

●   防油性：采用背面进气方式，防水防油

●   一致性：MEMS微米级加工工艺，器件差异性小，并且出厂前校准测试，保证触发压力一致

敏芯股份认为，MEMS压力传感器是电子烟中可实现抽吸开关的最优解决方案之一。为此通过反复改良优化，拥有卓越可靠性与稳定性的敏芯MEMS压力传感器，已获得众多客户的认可与信赖并持续供货放量。此外，利用MEMS平台型企业的技术叠加优势，敏芯股份率先开发了包括流量计和流量开关在内的芯片，实现对电子烟高中低品牌市场的覆盖。