用于大尺寸液晶屏制造设备的退火工序的准分子激光器

　　日本Gigaphoton公司2016年6月24日宣布，开发出了用于制造平板显示器(FPD)的极小激光退火工序用准分子激光器“GIGANEX”系列。不久前将该激光器配备在日本V-Technology公司的极小激光退火装置上，供货给了大尺寸液晶屏制造设备工厂用于LTPS(低温多晶硅)TFT液晶面板制造。

　　“GIGANEX”准分子激光器的机壳示意图(照片出自Gigaphoton的新闻发布资料)

　　这是一款应用高可靠性半导体光刻用准分子激光器的退火用准分子激光器，是专供V-Technology制造的装置使用的专用机。通过导入已有的a-Si(非晶硅)面板制造工序，使a-Si向p-Si(多晶硅)结晶化，可制造用以往a-Si无法制造的8K等高精细面板。

　　另外还可实现以往激光退火工艺无法实现的大型面板尺寸的制造，可满足制造50～70英寸TV面板的大尺寸液晶制造设备工厂的要求。

　　GIGANEX是面向FPD制造、柔性器件工艺及光刻以外的半导体制造等领域的准分子激光器产品的新品牌。Gigaphoton已在5月22～27日于美国举行的“Display Week 2016”上，展出了用GIGANEX制造的试制面板。