准分子激光器文章进入准分子激光器技术社区

用于大尺寸液晶屏制造设备的退火工序的准分子激光器

　　日本Gigaphoton公司2016年6月24日宣布，开发出了用于制造平板显示器(FPD)的极小激光退火工序用准分子激光器“GIGANEX”系列。不久前将该激光器配备在日本V-Technology公司的极小激光退火装置上，供货给了大尺寸液晶屏制造设备工厂用于LTPS(低温多晶硅)TFT液晶面板制造。　　　　“GIGANEX”准分子激光器的机壳示意图(照片出自Gigaphoton的新闻发布资料) 　　这是一款应用高可靠性半导体
关键字：液晶屏准分子激光器

248nm增透膜国际领先：准分子激光器应用扩展

　　248nm准分子激光器技术由于输出波长短、能量高、具有窄的脉宽和很高的峰值功率，在工业、国防等方面，尤其是高功率激光系统包括248nm光刻技术、激光医疗、激光精细加工中具有极广的应用前景，也是ICF领域一个重要的技术选项。248nm薄膜元件是准分子激光系统中重要的薄膜元器件，其光学损耗和抗激光损伤性能对激光系统的效率起着重大或决定性的作用。　　中国科学院上海光学精密机械研究所研究了LaF3、MgF2、Al2O3和SiO2薄膜的低吸收、低损耗蒸发沉积工艺，在此基础上设计并制备了两种248nm增透膜，
关键字：准分子激光器 248nm

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准分子激光器介绍

准分子激光器 excimer laser 以准分子为工作物质的一类气体激光器件。常用相对论电子束（能量大于200千电子伏特）或横向快速脉冲放电来实现激励。当受激态准分子的不稳定分子键断裂而离解成基态原子时，受激态的能量以激光辐射的形式放出。发展历程编辑本段回目录第一台准分子激光器于1970年诞生，它利用强电子束激励液态氙，获得氙准分子的激射作用，激光波长为1720埃。随后，气相 [ 查看详细 ]

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