我首条石英玻璃基板成套生产线建成

　　近日从中国建筑材料科学研究总院(以下简称建材总院)获悉，基于光刻用石英玻璃基板(以下简称石英玻璃基板)绿色制造技术，建材总院石英院在衢州建立了国 内首条从基板原材料制造到产品加工的成套生产线，该生产线可年产20000片4—6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料及产品长期依赖进口的局 面。

　　该生产线的建立，是建材总院承担的“十二五”国家科技支撑计划“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特种材料关键技术研发及示范”课题的成果之一。

　　玻璃基板是集成电路芯片制造工艺中的核心器件，市场需求量巨大。作为石英玻璃基板的原材料，合成石英玻璃具有热稳定性好、光学均匀性高、耐辐照等诸多优点。然而，受原材料纯度、均匀性及加工精度、硬脆特性等制约，我国石英玻璃基板长期依赖进口。

　　作 为我国唯一专业从事石英玻璃研究的科研院所，建材总院石英院科研人员经不懈努力，形成一套符合我国行业现状与发展趋势的独有工艺路线，不但解决了石英玻璃 基板原材料的纯度、均匀性难题，同时实现了原材料绿色制造;引入多刀切割、安全快速磨抛工艺，创造性地开发了熔拉制坯、数控倒角等技术，解决了石英玻璃基 板加工精度的难题。从基板原材料制造到产品加工，该院形成专利20余项，行业标准、国军标及国家标准10余项，开发出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透 镜等系列产品，不仅逐步替代进口，而且出口欧洲、日本等国。