- 近日从中国建筑材料科学研究总院(以下简称建材总院)获悉，基于光刻用石英玻璃基板(以下简称石英玻璃基板)绿色制造技术，建材总院石英院在衢州建立了国内首条从基板原材料制造到产品加工的成套生产线，该生产线可年产20000片4—6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料及产品长期依赖进口的局面。
该生产线的建立，是建材总院承担的“十二五”国家科技支撑计划“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特种材料关键技术研发及示范”课题的成果之一。
玻璃基板是
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石英玻璃基板 晶圆
- 近日从中国建筑材料科学研究总院(以下简称建材总院)获悉，基于光刻用石英玻璃基板(以下简称石英玻璃基板)绿色制造技术，建材总院石英院在衢州建立了国 内首条从基板原材料制造到产品加工的成套生产线，该生产线可年产20000片4—6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料及产品长期依赖进口的局 面。
该生产线的建立，是建材总院承担的“十二五”国家科技支撑计划“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特种材料关键技术研发及示范”课题的成果之一。
玻璃基
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石英玻璃基板
石英玻璃基板介绍
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