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显微工作台重复精度的测量

作者:时间:2012-08-27来源:网络收藏

用百分表(为0.01 mm)对两个方向的定位进行了测试。首先将某一位置进行零点标定,并向一个方向给出一定步数的脉冲,然后再返回相同的步数,记录与零点的偏差,进行10次,计算这一步数的定位误差。在X轴方向取1.4 mm(35步),2.8 mm(70步)和4.8 mm(120步),在y轴方向取1.2 mm(30步),2.4 mm(60步)和4.0 mm(100步)。计算结果是:在x方向上的标准偏差分别为σ1=0.018 mm,σ2=0.025 mm和σ3=0.032 mm,平均标准偏差σX=0.025 mm;在y方向上的标准偏差分别为σ1=0.009 mm,σ2=0.014 mm和σ3=0.023mm,平均标准偏差σy=0.015 mm。在X轴方向上的重复误差分别为△x1=0.016 mm,△x2=0.019 mm,△x3=0.026mm;在y轴方向上的重复误差分别为△y1=0.006 mm,△y2=0.010 mm,△y3=0.017 mm。测试结果表明,在X和y方向上的重复定位误差分别为△y1=0.02 mm,△y=0.011 mm,满足了要求。

本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/167607.htm

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