日本住友精密收购Tegal离子刻蚀事业部

　　日本住友精密产品公司(SPP)日前完成了对Tegal离子刻蚀事业部的收购，由此促成Tegal转型为太阳能系统项目开发商。Tegal以制造和销售深度反应离子刻蚀(Deep Reactive Ion Etch，DRIE)设备而著称，但该公司2009年就打算退出半导体设备行业，转投新兴的太阳能系统项目开发市场。

　　两家公司都没有透露有关交易的细节，公开的消息是住友精密产品的子公司，SPP 工艺技术系统公司(SPTS)接管了Tegal的有关设备资产，其中包括Tegal DRIE 系列的所以设备、知识产权、和有关的制造工艺技术。SPTS 在2009年还合并了另一家日子难熬的设备公司Aviza Technologies。