实验名称：基于单端接触原理的LED外延片无损检测

　　实验内容：基于单注入模式，使用新型检测系统获取LED外延片的电学参数与光学参数。

　　研究方向：LED外延片检测

　　测试设备：光谱仪、函数信号发生器、ATA-2161高压放大器、显微镜及成像系统、示波器、电脑等。

　　实验过程：

　　图1：实验装置原理图

　　首先对LED外延片进行光致发光（PL）测试，通过光谱仪获取峰值波长。然后，将测试设备按图1所示连接完毕后，将待测LED外延片放置在ITO玻璃上，缓慢下降探针，直至LED外延片产生电致发光现象。通过光谱仪获取峰值波长，示波器获取电学参数。最后，使用传统的电致发光（针测）对LED外延片进行测试。在保证光谱仪软件显示的相对强度在一致或接近时，获取LED外延片的电学参数和光学参数。

　　实验结果：

　　图2：SC-EL所获得的光学参数与针测所获得的光学参数

　　图3：SC-EL所获得的光学参数与针测所获得的光学参数

　　由于针测获得的数据最具有可靠性，因此将其作为标准值来比较PL测试与单端接触电致发光（SC-EL）测试所获得数据的准确性。实验结果表明，SC-EL所获得的光学参数与针测所获得的光学参数更加接近并且不会对LED外延片造成机械性损伤（如图2、图3所示）。此外，SC-EL所获取的电学参数与针测所获取的电学参数（反向漏电流）具有同样的趋势，可以反映针测所获取数据的水平（如图4所示）。

　　图4：针测所获取数据的水平

　　高压放大器推荐：ATA-2161

　　图：ATA-2161高压放大器指标参数

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