12月26日消息，据韩媒 ETNews 报道，三星电子正在开发自己的“智能传感器系统”，用于对半导体工艺的控制和管理。这项新技术有望提高半导体良率、提高生产率。

提高半导体良率的关键点之一，是精确控制半导体生产过程中等离子体的均匀性和密度，而“智能传感器系统”用于测量晶圆等离子均匀性，准确测量和管理蚀刻、沉积和清洗的工艺性能，有望提高半导体良率和产能。

三星现有的晶圆智能传感器大部分采购自美国等国外厂商，耗资巨大。而近期对于提高产量的需求不断飙升，倒逼三星转向自研，降低对外国传感器的依赖程度。

当前，三星电子内部已经开始了智能传感器系统的研究与开发，预计未来将应用于无人驾驶和人工智能半导体制造过程。该项目据悉正在与有关伙伴和学术界合作进行。

此外，三星电子正在开发的智能传感器据悉为超小型，不会对现有设备空间造成太大影响。这意味着还能够提高空间利用率。

三星电子还计划逐步扩大智能传感器的开发和应用范围。其目的是开发智能传感器和系统，可用于各种半导体工艺，而不限于等离子体。

来源：芯传感

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