真空环境是很多精密设备运转的前提条件，由于目前自然真空的利用十分困难，因此一般通过真空泵获取真空环境。用来获得、改善、维持真空的装置称为真空泵。一般来说，为了获得高真空、超高真空及ji高真空，有时还要采用多台真空泵构成机组来完成抽气任务。因此，了解各种真空泵的工作原理、主要性能、结构特点等，对于正确选择经济适用的真空泵是非常重要的。

zui常用的真空泵就是机械泵，它通过转子旋转，将空气从吸气口吸入，然后从出气口排出。机械泵能够达到的真空度大概为1Pa。但是这样的真空度还远远达不到很多物理实验的要求，所以更高要求的真空环境就需要用到涡轮分子泵或磁悬浮分子泵来获得。涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。由于涡轮分子泵需要在粗真空下才能正常工作，一般利用机械泵作为其前级泵。分子泵进入正常转速后利用烘烤的手段可得到1E-8Pa的极限压力。

分子泵的高转速也使得其十分“脆弱”，一粒灰尘甚至气体本身都会对运转中的叶片造成巨大的伤害。并且只要分子泵在启动状态，前级机械泵就需要一直维持运转。启动和关闭都要严格遵循程序，否则就可能造成“机毁泵亡”。

专栏文章内容及配图由作者撰写发布，仅供工程师学习之用，如有侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。 联系我们