JZM-D30室温探针台技术参数
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概况：
锦正茂JZM-D30室温探针台的诸多设计都是专用的，探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如，要求的磁场型号，电源型号，磁场值，样品台的尺寸等，除此之外，该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用，可以提高磁场的高稳定性。因此，该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。
技术参数：※磁场型号:EM3加长版※电源型号:JP10-40，优于50ppm
※磁场值:>1000Gs@60mm间距
※磁场分辨率:优于0.1Gs
※三维探针座:高精度三维探针座4个
※载物台直径:30mm
※Y轴位移-15mm至200mm,精度优于10微米※X轴位移±15mm,精度优于10微米
※Z轴行程10mm,精度优于20微米
※R轴旋转:360度粗调，±5°范围内精调，精调精度10'
※显微镜:体视显微镜，变倍范围优于10-150倍※机械加工精度优于10微米。
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关键词：
探针台
半导体测试
实验台
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