随着电子技术的不断发展，对于精密微小（纳米级）的微电子器件，要去测试它的基本电学性能（如电流、电压、阻抗等） 时配有显微镜的高精度探针台能够提供良好的电测环境。通过显微镜和CCD将待测器件放大，用高精度微探针对待测器件进 行扎针再外接电学测试仪表进行测试和分析。此外，对于一些怕氧化、需要保存在真空中的器件，即便在电学测试的过程中 也需要将样品置于真空环境中，因此室温真空探针台是这种类型测试的不er选择。

 室温真空探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个室温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成 电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于室温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。

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