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MOCVD用过滤器
k465i 过滤器
适用于 Aixtron 2400/2600/2800 的过滤器
MOCVD 是一种基于气相外延生长 (VPE) 的新型技术。
* 更快速的液体排出。
* 较低的饱和压降。
* 更快地从液滴中恢复。
* 由于对环形速度的限制较少,因此容器直径最小化。
* 需要更少的元件更换。
* 高固体去除效率。
* 一致的高效液体去除。
* 减少液体损失。
* 下游设备的最佳保护。
* 降低资本和运营成本。
* 提高产品质量和一致性。
* 降低运营和维护成本。
* 降低维护成本并提高
可用性。

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