去年5月曝光的三星电子旗下半导体设备公司——SEMES公司前员工等7人因涉嫌将SEMES开发的半导体清洗设备技术出售给中国企业而被起诉的案件又有了新进展。

1月17日消息，据韩国媒体报道，韩国水原地方检察厅16日宣布，已起诉包括三星电子旗下半导体设备公司——SEMES公司前研究人员，以及此次技术泄漏事件经纪人在内的五人，他涉嫌将SEMES开发的半导体清洗设备技术出售给中国企业，违反了韩国《产业技术保护法》和《防止不正当竞争法》。在这五人中，有四人被捕，一人由于是被煽动而没有被拘留。

△2020年6月，三星电子董事长李在镕视察SEMES天安工厂的生产线

报道称，此次被正式起诉的五人包括一名前SEMES员工，他于2016年退出公司，并于2019年创办了自己的公司。他涉嫌于2021年6月将通过将SEMES合作伙伴公司的首席执行官获得的“超临界半导体清洗设备”的关键图纸交给技术泄漏经纪人。随后该经纪人将图纸泄露给了中国厂商。

调查人员发现，这位前SEMES员工和其他人在2019年12月至2022年7月期间通过出口20台清洁设备与相关技术一同出售给了中国企业及研究机构，从中获取了1193亿韩元（约合人民币6.5亿元）的报酬。

去年曝光的消息显示，这位前SEMES员工及相关人员在盗取SEMES公司技术后，制成14台相同配置的半导体清洗设备，与相关技术一同出售给了中国企业及研究机构，从中获取了710亿韩元，约合人民币3.7亿元的报酬。

据SEMES官网介绍，其SUPER CRYSTAL系列清洗机是世界第一台超临界设备，采用无倾斜技术（高萃取/高溶解度），具备高通量和稳定性，能够去除19nm的颗粒。

△Semes的晶圆清洗机

报道称，“从2009年到2021年，SEMES在超临界技术的研发上投入了约350亿韩元，”一位检方官员说。“这一泄密造成了超过350亿韩元的直接损失。人们担心，如果SEMES的订单由于公司技术实力下降而仅下降10%，那么SEMES每年将遭受超过400亿韩元（约合人民币2.2亿元）的损失。

对于具体是哪家中国企业涉及其中，相关报道及检方披露的资料并未显示。由此，也引发了国内投资者的关注和猜测。去年6月1日，盛美上海在投资者互动平台就回应投资者提问时称：“盛美上海及控股子公司与该事件完全无关。”

此外，这位前SEMES员工还被指控与另一名前SEMES 研究员合谋，将SEMES 于 2021年在全球第二次开发的单晶圆磷酸盐清洁设备的信息泄露给自己离职后创立的公司的员工，后者也被逮捕和起诉。单晶圆磷酸盐清洗设备用磷酸溶液逐一清洗半导体。它用于去除残留在晶圆表面上的二氧化硅。

报道称，世界上只有两家公司成功开发了这种设备——韩国的SEMES和日本的Shibaura（芝浦）。

去年5月，这名前SEMES员工因向中国泄露SEMES湿式半导体清洗设备的信息而被捕并被起诉一次。去年11月，由于逮捕期届满，他被取保候审，没有拘留，但随着检方发现额外的技术泄露案（单晶圆磷酸盐清洁设备技术窃密），他再次被监禁。

资料显示，SEMES由三星电子于1993年成立，是生产半导体和显示器制造设备的重要子公司。

目前，Semes的产品主要包括半导体前道工序领域的清洗（LOTUS、BLUEICE PRIME）、Phototrack（OMEGA-S、OMEGA-K）、蚀刻（Michelan O3、Michelan C4）设备，还有后道工序的Bonder、Probe、Test Handler等设备。

根据官网公布的数据显示，SEMES在2021年全年的收入为3.12万亿韩元（约人民币162亿元），营业利润为3533亿韩元。与2020年相比，收入和营业利润也分别增长了41%和24%。其中，晶圆厂设备占Semes的2021年收入的75%，而平板显示设备占比1.7%。2020年，晶圆厂设备占其年收入的61.24%，而平板显示设备占比9.9%。该公司的目标是到2030年营收达到5万亿韩元（约合人民币273.1亿元）。

根据Gartner的数据显示，在2019年的全球半导体清洗设备市场，日本迪恩士（DNS）、日本东京电子（TEL）、韩国SEMES和美国泛林集团（Lam research）分别占据了45.10%、25.30%、14.80%和12.50%的市场。

专栏文章内容及配图由作者撰写发布，仅供工程师学习之用，如有侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。 联系我们