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HFE过滤器有效解决半导体产生的氮气

发布人：jingpinyeya123 时间：2022-12-12 来源：工程师
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HFE滤壳用于装入颇尔大流量Emflon®滤芯。其典型应用包括半导体、平板显示器以及光伏制造过程中使用的大量氮气（N2）和压缩干燥空气（CDA）。 • 可装入1或3个滤芯 • 可选508mm（20英寸）或1,016mm（40英寸）长度 • 流量从1,000Nm3/h（588scfm）到20,000Nm3/h（11,770scfm）及以上 • 螺栓封闭件带可选夹具 • 升降吊柱标配3-around滤壳 • 接头为串接“T”型结构 • 可选满足高或标准纯度规格

材料

  • 304L或316L不锈钢

  • 表面处理：电解抛光或清洗，用于处理氧气*

  • <0.25微米（10微英寸）/0.63微米（25微英寸）Ra的内表面处理

  • O型圈密封件：氟橡胶（标配），可按需提供其它选择

接头

  • 80A至400A JIS法兰和对接焊缝接头

  • 2英寸至6英寸ANSI法兰和对接焊缝接头

  • 可按需提供其它选择

工作条件

  • 最大工作压力：

    • 标准压力：100°C时为1.7Mpa（212°F时为250psig）

    • 高压选项：100°C时为2.5Mpa（212°F时为363psig）

认证

  • 欧洲压力设备指令：根据欧盟压力设备指令第97/28/EU号对滤壳合规性进行评估并通过CE认证（请参见CE认证滤壳选项）

  • ASME: 根据ASME标准设计、制造和冲压滤壳（请参见ASME标准冲压滤壳选项）

额定泄漏值

  • 进行100% 10-6 atm•cm3/s的氦气泄漏测试

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关键词： HFE过滤器
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