其实从7nm开始，台积电和三星就开始引入EUV光刻，但过程层数较少。按照ASML的说法，迭代到5nm后，EUV的层数达到了14层，包括但不限于触点、过孔以及关键金属层等过程。未来的3nm、2nm，对EUV的依赖将更甚。
作为目前唯一能生产EUV光刻机的荷兰ASML来说，自然成了台积电和三星争抢的香饽饽，即便单台价格达到了1.2亿欧元（约合9.4亿元人民币）。
来自Digitimes的最新报道称，台积电为明年生产，已经向ASML下定了至少13台EUV光刻机。简单估算的话，花费的金额超120亿元人民币。
需要明白的是，EUV光刻机不是有钱就能买，因为ASML每年的产能非常有限，2019年全年才出货了26台，今年上半年出货了13台，截至三季度结束累计才出货23台。
另外，ASML定于明年中旬交付最新一代EUV光刻机TWINSCAN NXE:3600D，生产效率提升18%、机器匹配套准精度改进为1.1nm，不出意外的话，台积电应该是首批客户。

专栏文章内容及配图由作者撰写发布，仅供工程师学习之用，如有侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。 联系我们