旋片真空泵在微电子设备的生产制造中的应用

微电子技术是低成本、大批量地生产出具有高可靠性和高精度的微电子结构模块。能够改变生产和生活面貌的先导技术。

东莞市普诺克真空科技有限公司提供独特的设备，支持服务与技术专长，能够满足硅半导体与复合半导体等微电子设备的生产制造中的应用需求。提供旋片真空泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。

旋片真空泵在微电子设备中的应用

1.       负载锁定   

2.       剥离/灰化

3.       传输腔       

4.       电介质刻蚀（氧化物腐蚀）

5.       计量

6.       硅导体腐蚀

7.       平版印刷（和 EUV 平版印刷）    

8.       金属导体刻蚀

9.       PVD 制程 

10.     PECVD 与 LPCVD

11.     PVD 预清洁       

12.     有机金属 CVD

13.     快速高热退火     

14.     原子层沉积

利用真空泵与减排系统（采用了针对具体制程而有所优化的丰富多样的技术）以及管道、阀门调节、采集器、仪器仪表、制程工具接口与 FabWorks 通讯网络，普诺克旋片真空泵能够应对复杂制程废气管理。还应用于平板显示器、太阳能、镀膜以及其他工业应用。

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