真空机组作为前级真空系统具有很大的作用，不仅对真空泵本身有好处，而且提供了工作的效率。

真空机组主要是由油旋片真空泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、油雾过滤器等设备配件组成，一般情况下用于生产、研究设备的真空排气。真空机组一般有罗茨泵真空机组、水环真空机组、罗茨真空泵机组和旋片式真空泵机组。

罗茨水环真空机组是以罗茨泵为主泵，以水环泵为前级泵串联而成的。罗茨水环真空机组选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利，它克服了单台水环泵使用时极限压力差（机组的极限压力比水环泵有很大的提高），在一定压力下抽气速率低的缺点，同时保留了罗茨泵能迅速工作，有较大抽气速率的优点。尤其能够适应抽除大量的可凝性蒸汽，特别是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够，或使用的溶剂能使泵油恶化而影响性能，或者是真空系统不允许油污染的时候更为明显。

普诺克真空机组一般应用在蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜等；单晶炉、多晶炉、真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉等；真空干燥、冷冻干燥、检漏设备及系统、气体回收系统、液晶注入等；冰箱、家用空调、中央空调、节能灯、背光源、自动抽空线、排气设备等。

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