为了获得理想的超高真空，同时运用冗余技术，东莞市普诺克真空科技有限公司推荐使用罗茨泵机组和旋片真空泵并联的真空系统。罗茨泵机组可以作为系统的预抽，这样当旋片真空泵降温后可以直接在分子流状态下工作。

真空炉选用真空系统，最大的问题就是解决热负载。真空炉中的热负载主要来自于三方面：

①来自炉体侧的热辐射；

②粘滞流状态下，气体分子携带走热量；

③来自泵口管道的热传导和辐射热量。

旋片真空泵工作在分子流状态下，热源可以通过增加水冷结构消除。真空炉内选择多层金属反射屏，最高加热温度为1300℃，共6 层反射屏，内3 层选钼屏，其余各层选不锈钢反射屏。理论上加热器通过辐射到达容器壁的温度约200℃，温度随着时间会慢慢升高。以避免与真空室直通，这就进一步减少了传给泵的热负载，这也是减少热辐射最简单有效的方法。在分子流状态下，弯头对流导的影响可忽略，对真空系统而言比挡板更有效。为了进一步减少泵口管道热传导热和辐射对低温泵的影响，在弯头管道上设计了水冷结构。

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