直接将ACS安装至4200-SCS的嵌入式PC中能让功能强大 的ACS集成测试系统兼有两者优点。小尺寸但功能强大的 4200-SCS测量硬件结合了ACS软件的全自动化特性，能在极小的封装中实现令人印象深刻的测试功能和自动化。使用案例非常广并且包括：

• 技术开发：当技术开发工程师需要进行各种过程分割时， 用以确定过程的操作困境并从每片晶圆和多片晶圆的测 试结构中获取参数数据。

• 参数功能测试：当需要在多片晶圆上的多个器件上进行 无人干预的参数测试但高吞吐量相对于测试成本和易用 性而言是次要时。

• 定制建模工具：当建模工具需要很多种器件的参数测量 结果，然后将结果移植至建模软件，进行分析并建立器 件软件模型时。 ACS能完全访问和控制4200-SCS上的最新脉冲和PIV软 /硬件，包括吉时利开发（和获专利权）的软件，例如4200 -PIV-A包。这能让系统执行全量程直流、CV和脉冲源和测 量。此外，为扩展测试方案功能并满足测试需要，此系统可以轻松地增配由ACS软件控制的CV仪表、开关矩阵或其 它外部硬件。

精密实验室设备和全自动功能降低测试成本 在成本较低的台式测试仪（但具有业内领先的测试和测量能力）中加入重要的自动化功能便能明显降低测试成本。ACS系统非常适于 能产生大量数据的应用，但不是对吞吐量敏感应用，例如大容量最终测试。通过直观的设置和操作简化操作人员的任务，并且最小化 测试过程的人工干预还能显著降低测试成本。最小配置如图1所示。

图1. 4200-SCS运行ACS软件和自动探测器便足以执行多种直流和脉冲参数 自动化测试

结论

面市时间延长和测试成本压力增大意味着测试工程师必须用更 少的投入做更多的事。利用吉时利久经验证的仪器和测量，ACS集 成测试系统填补了基于交互式实验室工具与高吞吐量生产测试工具 之间的空白。 在这种情况下，让ACS运行在4200-SCS半导体特性分析系统中是 将实验室级参数测量提升至更高级的自动化并降低测试成本的一种理想方法。运行高质量自动测试的小尺寸集成测试仪器能帮测试工 程师在测试过程中以最短设置时间和最少人工干预完成大量的测试 和数据——采用非常经济有效的封装。强大、灵活的分析、演示和 报告工具简化了测试后续工作。

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