Andrew Armutat 产品市场部 吉时利仪器公司

2602型双通道系统源表[1]

并行I-V测试[2]系统――适用于复杂器件的多个DUT测试或多通道测试的系统。对此类DUT的测试，速度取决于仪器、应用程序以及在施加激励源后DUT达到稳定响应时所需的时间（过早的测量将产生错误结果）。在现有的并行测试系统设计中碰到的限制包括顺序多通道源[3]－测量设计而不是同步的多通道源－测量、有限的电压或电流量程、灵活性不够、体积庞大以及高成本等（因为这些系统可能过度重视从基础设计开始、仪表的灵敏度、或较高程度地为用户定制设计）。

可随意组合的多通道系统[4]――不同于其它两种结构，它通常包括多种仪器来测试复杂的器件。两种最常见的可随意组合的多通道系统为（a）集成的功能测试机台和（b）采用开放式API（应用程序接口）架构仪器构建的I-V测试系统。

开放式API接口是指采用模块化结构的仪器产品，非常方便构建定制的测试系统方案；与半导体参数测试机台不同，它是一个完全预先装配好的完整系统。在这两种结构中，SMU通常都是核心部件，当然也可能包含其他设备，如信号发生器、示波器、频谱分析仪[5]、程控开关等。

当SMU作为参数测试机台或其它成套测试系统的内部模块时，一般将宽带仪器作为外部添加设备。不管是哪种情况，最理想的是实现仪器的无缝集成，以获得多通道高速I-V测试解决方案。成套测试系统（交钥匙工程）的优势在于，已经为用户进行了许多的软硬件集成，且仍能提供一定程度的灵活性；其缺点是成本相对较高。相反，开放式API系统可获得高度的灵活性，并且成本会更加低廉，当然这与具体的应用和仪器特性直接相关。

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