当带电物体接近被测电路时,会发生静电耦合或干扰。低阻抗时,由于电荷消失很快,所以干扰的影响不明显。然而,高电阻材料不会使电荷快速衰减,则会造成测量不稳定、噪声很大。通常情况下,当被测电流≤1nA或者被测电阻≥1GΩ时,静电干扰就会成为问题。
为了减小静电场影响,被测电路可被密封在一个静电屏内。图8所示为非屏蔽和屏蔽测量一个100GΩ电阻之间的巨大差异。非屏蔽测量比屏蔽测量时的噪声要大得多。

图8. 100GΩ电阻的屏蔽和非屏蔽测量的比较
屏蔽可以仅仅是一个将测试电路包围起来的简单金属盒或金属网。商业探针台往往将敏感电路密封在一个静电屏蔽内。屏蔽被连接至测量电路LO端子,该端子不一定接地。对于
4200-SCS来说,屏蔽连接至Force LO端子,如图9所示。

图9. 屏蔽高阻器件
采取以下步骤将静电耦合导致误的差电流降至最小:
· 屏蔽DUT,并将屏蔽层在电气上连接至测试电路公共端——4200-SCS的Force LO端子。
· 使所有带电物体(包括人员)和导体远离电路的敏感区域。
· 测试区域附近避免移动和振动。
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