埃米时代来临,背面电轨(BSPDN)成为先进制程最佳解决方案,包括台积电、英特尔、imec(比利时微电子研究中心)提出不同解方,锁定晶圆薄化、原子层沉积检测(ALD)及再生晶圆三大制程重点,相关供应链包括中砂、天虹及升阳半导体等受惠。 背面电轨(BSPDN)被半导体业者喻为台积电最强黑科技,成为跨入埃米时代最佳解决方案,预估2026年启用。目前全球有三种解决方案,分别为imec的Buried Power Rail、Intel的PowerVia及台积电的Super Power Rail。代工大厂皆开始透过设