创新技术赋能先进制造,推动产业效率革命2025年3月27日,Semicon China 2025期间,全球领先的真空设备制造商爱发科集团正式推出三款面向先进半导体制造的核心设备:多腔室薄膜沉积系统ENTRON-EXX、针对12英寸晶圆的集群式先进电子制造系统uGmni-300以及离子注入系统SOPHI-200-H。此次发布的产品以“灵活高效、智能协同”为核心设计理念,覆盖晶圆制造、化合物半导体及封装等关键领域,助力客户实现技术突破与产能升级。多腔室薄膜沉积系统ENTRON-EXX:灵活智造,释