- 1引言目前在蓝光LED的制备中，通常采用异质外延的方法生长氮化镓材料。在商品化的LED中，绝大部分采...
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蓝宝石 LED外延片 背减薄 抛光
- 使用四种非离子表面活性剂分别添加到以SiO2水溶胶为磨料、H202为氧化剂的碱性Cu抛光液中进行抛光实验。结果表明，所选用的非离子型表面活性剂对材料去除率的影响不大，当烷基酚聚氧乙烯醚在质量分数为0．25％时，抛光表面质量提高，表面粗糙度(Ra)由1．354 nm下降到了0．897 6 nm，同时有效地减轻了Cu抛光表面的划痕和腐蚀，其原因是聚氧乙烯链可以通过醚键与水分子形成氢键，在聚氧乙烯周围形成一层溶剂化的水膜保护了被吸附表面。
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ULSl 离子 活性剂 抛光
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