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非离子型活性剂在ULSl碱性Cu抛光液中的性能

• 使用四种非离子表面活性剂分别添加到以SiO2水溶胶为磨料、H202为氧化剂的碱性Cu抛光液中进行抛光实验。结果表明，所选用的非离子型表面活性剂对材料去除率的影响不大，当烷基酚聚氧乙烯醚在质量分数为0．25％时，抛光表面质量提高，表面粗糙度(Ra)由1．354 nm下降到了0．897 6 nm，同时有效地减轻了Cu抛光表面的划痕和腐蚀，其原因是聚氧乙烯链可以通过醚键与水分子形成氢键，在聚氧乙烯周围形成一层溶剂化的水膜保护了被吸附表面。
• 关键字： ULSl  离子  活性剂  抛光