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背减薄 文章 进入背减薄技术社区

蓝宝石基LED外延片背减薄与抛光工艺研究

  • 1引言目前在蓝光LED的制备中，通常采用异质外延的方法生长氮化镓材料。在商品化的LED中，绝大部分采...
  • 关键字： 蓝宝石  LED外延片  背减薄  抛光    
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背减薄介绍

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