- 中国台湾自研重点放在半导体关键材料自主化,9家厂商年底将进行终端产线验证。 最快明年深紫外光(DUV)曝光机的光阻剂核心材料,可打入台积电、联电等代工大厂产线中。微影制程是在晶圆上制作电路图案,随着精细度有DUV、EUV(极紫外光)差别。 光阻剂是一种光敏感材料,由树脂、光敏感剂、溶剂和添加剂等组成,乃微影不可或缺重要材料。 至于曝光机的光罩部份,岛内像是家登都有生产,比例已不低。但过去晶圆代工制程曾发生过光阻剂大缺货,为了把关键材料掌握在自己手中,岛内推动两期半导体先进制程与封装材料研发。 第一期202
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DUV 曝光机 光阻剂 台积电 联电
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LED 光阻剂
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LED行业 光阻剂 LED芯片
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