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光学光刻 文章 进入光学光刻技术社区

光学光刻和EUV光刻中的掩膜与晶圆形貌效应

  • 半导体制造中微型化的进展使得光刻掩膜和晶圆上的几何图形不断增加。准确模拟这些图形产生的衍射要求运用精 ...
  • 关键字： 光学光刻  EUV光刻  掩膜  晶圆形貌  
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光学光刻介绍

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