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MEMS/NEMS表面3-D轮廓测量中基于模板的相位解包裹算法

  • 相位解包裹是使用相移显微干涉法测量MEMS/NEMS表面3-D轮廓时的重要步骤.本文针对普通的相位解包裹方
    法在复杂轮廓或包含非理想数据区的表面轮廓测量中的局限性,提出一种基于模板的广度优先搜索相位展开方法.通过模板
    的使用,先将非相容区域标记出来,在相位解包裹的过程中绕过这些区域,即可得到准确可靠的相位展开结果.通过具体的应
    用实例可以证明,使用不同模板可以根据不同应用的需要灵活而准确地实现微纳结构表面3-D轮廓测量中的相位展开.
    关键词:MEMS/NEMS;表面
  • 关键字: 模板  相位  包裹  算法  基于  测量  表面  3-D  轮廓  MEMS/NEMS  

基于MEMS的LED芯片封装光学特性分析

  • 本文提出了一种基于MEMS的LED芯片封装技术,利用体硅工艺在硅基上形成的凹槽作为封装LED芯片的反射腔。分析了反射腔对LED的发光强度和光束性能的影响,分析结果表明该反射腔可以提高芯片的发光效率和光束性能;讨论了反射腔的结构参数与芯片发光效率之间的关系。最后设计r封装的工艺流程。利用该封装结构可以降低芯片的封装尺,提高器件的发光效率和散热特性。
  • 关键字: MEMS  LED  芯片封装  光学特性    

爱普科斯MEMS技术解析

  • 越来越多的移动设备,如手机、耳机、相机和MP3,采用了先进的降噪技术,以消除背景音,提高声音质量。要使这种先进...
  • 关键字: 爱普科斯  MEMS  

MEMS麦克风可增强音频系统的质量和可靠性

  • 新型MEMS麦克风将高质量音频采集能力赋予便携式设备,同时能够降低成本、功耗和尺寸。
  • 关键字: ADI  MEMS  201111  

MEMS传感器整合解决方案

  • MEMS传感器包括测量线性加速度和地球重力矢量的加速度计、测量角速率的陀螺仪、测量地球磁场强度以确定方位的地磁计和测量气压以确定高度的压力传感器。把这些传感器整合在一起将会大幅扩大这些传感器的应用范围。本文以互补滤波器、卡尔曼滤波器和扩展型卡尔曼滤波器(EKF)为例,论述在一个传感器整合解决方案内如何让这些传感器协调工作,帮助读者了解如何把传感器整合从概念变为现实。
  • 关键字: 意法半导体  MEMS  传感器  201111  

采用综合法封装MEMS加速仪

  • MEMS封装系统应有MEMS执行感应功能,而且还要避免受到外界环境的影响,同时持续地改进质量,达到较高的ppm性能。本文采用SOIC封装,必须维持一个特定的共振频率,从而防止传感器被粘住或卡住。同时,封装必须确保传感器是可靠和完整的,没有出现断裂或输出偏差。本文采用一种综合学科研究方法,以确定合适的固晶材料来彻底解决器件断裂的问题。这种方法涉及振动分析、电气响应测定、压力分析和断裂力学。
  • 关键字: 飞思卡尔  MEMS  加速仪  201111  

加速创新步伐的MEMS传感器

  • 近年来,传感器市场持续保持增长,其增速超过15%。特别是MEMS传感器依靠独特的技术优势,逐渐成为改变电子产品设计理念的幕后推手。
  • 关键字: MEMS  传感器  201111  

MEMS运动处理方案对消费类电子的影响

  • 对设备在三维空间中的运动进行测量及智能处理的运动处理技术,将是下一个重大的革命性技术,会对未来的手持消费电子设备、人机接口、及导航和控制产生重大影响。
    这场变革的推动力量是基于微机电系统(MEMS)的消费级
  • 关键字: 消费  电子  影响  对消  方案  运动  处理  MEMS  

单片集成MEMS电容式压力传感器接口电路设计

  • 1 引 言单片集成是MEMS传感器发展的一个趋势,将传感器结构和接口电路集成在一块芯片上,使它具备标准IC工艺批量制造、适合大规模生产的优势,在降低了生产成本的同时还减少了互连线尺寸,抑制了寄生效应,提高了电路
  • 关键字: 传感器  接口  电路设计  压力  电容  集成  MEMS  单片  

ADISl6355 MEMS的惯性测量组件系统设计

  • ADISl6355 MEMS的惯性测量组件系统设计  首先简介ADISl6355AMLZ型MEMS的原理、构成及应用。在此基础上,搭 ...
  • 关键字: ADISl6355  MEMS  惯性测量  

基于AT89S52的MEMS陀螺信号采集与处理系统设计

  • 基于AT89S52的MEMS陀螺信号采集与处理系统设计, 针对MEMS陀螺仪在实际应用中达不到需要的精度,为改善陀螺仪的工作性能,降低陀螺信号噪声,通过AT89S52单片机与ADIS16355惯性陀螺仪搭建一个硬件平台,经过SPI接口通信、AT89S52单片机控制,将采集的数据通过LCD显示,并对平台系统进行静态和动态测试,最后对系统进行了误差分析,该系统具有较高精度、成本低、操作方便简单,在陀螺仪实际应用中具有良好的推广价值。
  • 关键字: 处理  理系  设计  采集  信号  AT89S52  MEMS  陀螺  基于  

首批采用MCU传感器的手机可能明年初问世

  •   据IHS iSuppli公司的微机电系统(MEMS)与传感器专题报告,MEMS领域中出现的传感器融合趋势,不但正在帮助改善移动与游戏设备中基于运动的精度,而且将为集中处理领域带来新的重大发展,并有望大幅提高其营业收入。   目前集中处理领域正在进行的开发,预计将采用当今的9轴传感器融合,该技术同时使用3轴加速计、3轴陀螺仪和3轴电子罗盘,以提供更加精确和灵敏的动作探测。明年9轴组合中使用的运动传感器的销售额将达到8.5097亿美元,比2011年底预计达到的5.5001亿美元大增55%,而到2015年
  • 关键字: IHS iSuppli  MCU传感器  MEMS  

MEMS传感器融合将推动集中处理快速发展

  •   据IHS iSuppli公司的微机电系统(MEMS)与传感器专题报告,MEMS领域中出现的传感器融合趋势,不但正在帮助改善移动与游戏设备中基于运动的精度,而且将为集中处理领域带来新的重大发展,并有望大幅提高其营业收入。   目前集中处理领域正在进行的开发,预计将采用当今的9轴传感器融合,该技术同时使用3轴加速计、3轴陀螺仪和3轴电子罗盘,以提供更加精确和灵敏的动作探测。明年9轴组合中使用的运动传感器的销售额将达到8.5097亿美元,比2011年底预计达到的5.5001亿美元大增55%,而到2015年
  • 关键字: MEMS  传感器  

MEMS惯性感测的技术变革

  • 引言  虽然自微电子机械系统技术(MEMS)第一次被用于安全气囊和汽车压力传感器领域,至今已有20年左右,但真 ...
  • 关键字: MEMS  感测  

利用MEMS惯性传感器改善控制

  • 最近的传感器技术发展使得机器人和其他工业系统设计实现了革命性的进步。除了机器人以外,惯性传感器有可能改...
  • 关键字: MEMS  惯性传感器  
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