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微聚焦X射线：应用优势明显 国产设备打破垄断

• 　　X射线技术是一项成熟的老技术，从1895年德国物理学家伦琴发现X射线(又称伦琴射线)起，对于X射线的研究与应用已经历了100多年的时间。但截至目前，对于X射线最主要的应用大都集中在工业探伤与检测上，其次是医疗检查和安全检验方面。电子行业及半导体领域的微检测成像，是一项新兴的X光应用技术，它对X光发生器提出更高的要求，并高度集成了多项工业自动控制软硬件新技术，结合半导体及电子封装工艺特点，把 X射线的应用延伸到一个更高的应用领域。它可以解决半导体生产研发中的基片、晶元质量判定问题，可以检测COB(板上芯
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