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ASYST推出AMHS新方案增加晶圆厂的生产力

• 　　具有竞争力的晶圆厂必须一方面做到高设备利用率，一方面又使处于制程中的晶圆量维持在最低，同时还必须让晶圆生产周期压缩到最短。这两项要求可能互相抵触。而解决的关键是不要让简称为「AMHS」的「自动物料处理系统」成为晶圆处理过程中的瓶颈，限制了晶圆厂的表现。 　　为半导体及平面显示器制造厂提供整合式自动化解决方案领导供货商ASYST今天宣布推出Agile Automation,这是一种在半导体晶圆厂新的自动化物料处理（Automated Material Handling）方式。 　　Agile A
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