随着先进制程技术的不断演进,高效的自动物料搬运系统已成为现代半导体制造的不可或缺的一部分,而半导体制造对生产效率和精度的要求不断提升,使智能信息化成为AMHS生产过程安全、高效管理的关键。作为中国领先的半导体制造AMHS(自动化物料搬运系统)整体解决方案提供商,弥费科技聚焦AMHS智能制造,以符合半导体行业标准的工业识别产品为信息载体,自主研发了系列传感控制设备,为AMHS天车系统、存储设备、半导体机台设备等生产过程信息化提供一整套应用解决方案。RFID Reader在12吋晶圆传送设备Foup Stoc
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弥费 AMHS 传感控制
弥费科技近期宣布完成C轮亿元融资,由大众聚鼎领投、璟侑资本跟投。此次融资将加大在研发和运营方面的投入,扩充海外产能的建设,助力弥费科技在全球范围内加速布局半导体自动物料搬运系统(AMHS)。自2014年成立以来,弥费科技凭借其卓越的技术实力,深耕于AMHS系统中最复杂的应用场景——晶圆制造厂。公司已成功研发出5大产品系列,33款软硬件结合的AMHS产品。这些产品不断经过众多国内外晶圆厂的实际应用与验证,实现了持续的优化与迭代。自动物料搬运系统在晶圆制造厂中扮演着至关重要的角色,相当于晶圆制造厂的传输中枢。
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弥费 AMHS
弥费科技近期宣布已在两家12吋晶圆厂完成自动物料搬运系统(AMHS)的验收,成为国内首家在晶圆厂领域打破海外长期垄断的国产AMHS供应商。在晶圆厂整厂AMHS系统级验收上,弥费科技已累计完成一家8吋碳化硅晶圆厂,一家12吋IDM晶圆制造厂和一家12吋标准代工厂国产化验证平台,并打通了验证平台和量产代工厂之间的衔接,实现了该验证平台上的所有国产化晶圆生产设备和量产线之间的无缝切换,既完成了国产化率和供应链安全的目标,也帮客户实现了整厂晶圆制造效率的显著提升。不同应用领域对AMHS系统的性能要求不同。相比于面
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弥费 晶圆厂 AMHS
液晶显示器从前主要用于笔记本电脑、台式机显示器等领域。随着时代的进步,从2004年开始,TFT-LCD在平板电视领域的应用规模日趋扩大,已经逐渐成为平板电视机和显示器的主角。为提高生产效率,液晶面板厂商加工的玻璃基板尺寸越来越大,AMHS(自动物料搬运系统)已经成为液晶面板生产中不可或缺的搬运设备。另外,AMHS的效率还将直接影响全厂的生产效率。
随着平板电视尺寸越来越大,用于制造液晶显示器的玻璃基板也随之逐渐扩大。根据玻璃基板尺寸的大小,液晶面板生产线被划分为不同世代。第1代液晶玻璃基板的尺寸
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液晶 TFT-LCD AMHS
具有竞争力的晶圆厂必须一方面做到高设备利用率,一方面又使处于制程中的晶圆量维持在最低,同时还必须让晶圆生产周期压缩到最短。这两项要求可能互相抵触。而解决的关键是不要让简称为「AMHS」的「自动物料处理系统」成为晶圆处理过程中的瓶颈,限制了晶圆厂的表现。
为半导体及平面显示器制造厂提供整合式自动化解决方案领导供货商ASYST今天宣布推出Agile Automation,这是一种在半导体晶圆厂新的自动化物料处理(Automated Material Handling)方式。
Agile A
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晶圆 ASYST AMHS Agile Automation
amhs介绍
FabEX是一种优化的、“无需等待”的自动物料传送系统,拥有其专利技术,传送晶圆盒的速度非常快(>3米/秒),因而,能缩短生产周期,提高设备的利用率和增加生产产能。与采用传统运输装置或者悬吊式搬运车辆的AMHS相比,FabEX速度更快,它能够曲线移动或者爬坡,摆动小,有效控制了颗粒物的产生。由于FabEX不需要任何搬运车辆,所以它能提供很高的产能。以上特性都基于IP 技术控制和软件,它能 [
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